石英在半导体设备中的应用

 
石英的性质？
1，热膨胀系数低，在温度变化时，石英的体积变化极小。
2，纯度高，低端w(SiO2)≥99.9%(3N)，中端w(SiO2)≥99.99%(4N)，中高端w(SiO2)≥99.995%(4N5)，高端w(SiO2)≥99.998%(4N8)
3，耐高温，在高温环境下使用而不容易变形或破裂
4，化学性质稳定，不轻易与酸碱等发生反应
5，极好的绝缘性
6，透光性佳，机械强度好
石英的加工过程
石英矿==》石英砂==》石英的管，棒，碇==》石英件
其中石英砂来源于三种途径：1，天然石英 2，水晶石  3，人造石英
石英在半导体设备中的应用
在外延、光刻、扩散、氧化、清洗、CVD、RTP、PVD、Etch等工艺制程中都将用到石英部件。主要有：
1，石英炉管，是晶圆进行高温加热过程的区域

  2，石英晶舟

Transparent Quartz Wafer Carrier Quartz Boat for Diffusion Quartz Glass Crucible Fit in Tube Furnace - Silica Quartz Boat, Quartz Boat | Made-in-China.com

   3，石英环

   4，石英花篮

  5，石英坩埚

     等等

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创建时间：2025-03-08